何剛教授課題組在器件界面鈍化和薄膜晶體管領(lǐng)域取得重要進(jìn)展
近日，我院何剛教授課題組（何剛教授課題組網(wǎng)站：www.ahu-hegang-group.com）在（1）低溫構(gòu)筑高性能薄膜晶體管及邏輯反相器；（2）MOS疊層?xùn)诺慕缑鎽B(tài)控制及器件性能優(yōu)化方面取得重要進(jìn)展。相關(guān)研究結(jié)果以“Low-Voltage-Operating Transistors and Logic Circuits Based on Water-Driven ZrGdOx Dielectric with Low Cost ZnSnO”和“Comparative passivation effect of ALD-driven HfO2?and Al2O3?buffer layers on the interface chemistry and electrical characteristics of Dy-based gate dielectrics”在電子器件專(zhuān)業(yè)期刊《ACS Applied?Electronic Materials》和材料知名期刊《Journal of Materials Chemistry C》在線(xiàn)發(fā)表。
論文鏈接：https://pubs.acs.org.ccindex.cn/doi/10.1021/acsaelm.9b00110?
??????????? ?https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2019/tc/c8tc05736b
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??????????課題組碩士生王蝶利用原子層前驅(qū)體的自清潔效應(yīng)和快速熱退火的有機(jī)結(jié)合，有效調(diào)控了溝道層界面態(tài)密度，利用稀土元素?fù)诫s抑制了鉿基柵介質(zhì)的本征缺陷和器件的漏流，器件性能良好。博士生楊兵利用全水溶液工藝制備了基于稀土元素?fù)诫s的柵介質(zhì)，低溫構(gòu)筑了高性能的薄膜晶體管和邏輯反相器。超薄高k柵介質(zhì)和薄膜晶體管是柔性顯示器件領(lǐng)域的研究重點(diǎn)，同時(shí)也是低功耗顯示器、CMOS集成電路必不可少的組成部分。該課題組利用價(jià)格低廉的全水溶液工藝低溫制備了性能優(yōu)異的高k柵介質(zhì)薄膜，且器件能低壓穩(wěn)定操作，反相器增益和動(dòng)態(tài)響應(yīng)良好。相關(guān)的研究結(jié)果對(duì)低能耗柔性器件的發(fā)展具有重要的意義。
?????????該研究工作得到了國(guó)家自然科學(xué)基金【11774001；51572002；11474284】、安徽省自然科學(xué)基金【1608085MA06】及物科院開(kāi)放基金【S01003101】等專(zhuān)項(xiàng)資金的經(jīng)費(fèi)支持。
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